恒运昌射频电源订单强劲 半导体平台化布局加速

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最新财报显示，恒运昌2025年实现营收5.29亿元，主要来自自研产品，2026年第一季度营收1.24亿元，目前持有尚未交付的在手订单约1.57亿元。公司已实现对拓荆科技、中微公司、北方华创等头部半导体设备商的批量供货，并通过国内头部晶圆厂准入审核，第四代Cedar系列产品正处于验证阶段。

一份研报观点认为，半导体制程持续迭代推动等离子体射频电源技术快速升级。公司历经十余年研发形成四代产品矩阵，Cedar系列将射频电源与匹配器整合为一体化平台，支持多中心阻抗应用和快速大数据采集，能更好满足3D NAND高堆叠刻蚀等先进工艺需求。研报指出，随着薄膜沉积和刻蚀工艺复杂度提升，射频电源在设备中的价值占比将同步上升，下游设备需求扩容将带来量价齐升机会。

研报认为，公司正加速向光伏、显示面板、精密光学等领域拓展，致力于打造等离子体工艺核心零部件整体解决方案平台。基于此，研报预计公司2026至2028年收入有望达6.49亿、7.96亿和9.82亿元，归母净利润分别为1.16亿、1.63亿和2.16亿元。上述积极进展显示恒运昌在半导体设备国产化趋势中技术壁垒较高，订单落地和平台化布局有望驱动业绩稳步增长。

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